深圳新聞網2025年11月13日訊（深圳特區報記者 張智偉）11月12日，全國產業計量融合創新發展會議在湖南衡陽召開。會議現場發布了市場監管總局和工信部聯合開展的“計量支撐產業新質生產力發展2025年度十大重點項目”，深圳檢測院牽頭承擔的“納米級工業CT檢測裝置研制”入選十大重點項目之一，劉鐵東院長上臺簽署項目任務書。

當前，國內相關裝備高度依賴進口，國產化裝備空白導致產業面臨“卡脖子”風險。深圳檢測院承擔的“納米級工業CT檢測裝置研制”項目，在自主研發的“平面掃描成像工業CT設備”基礎上推進。現有設備可在數秒內實現芯片封裝、電路板等產品內部三維結構的快速重建與缺陷識別，最高分辨率達1微米，目前該設備已在多家企業與科研機構投入應用。

為進一步滿足高端芯片微納結構檢測需求，服務我國高端集成電路與先進封裝產業，深圳檢測院積極推進“納米級工業CT檢測裝置研制”。項目將引入AI技術，突破納米級分辨力成像、全自動缺陷識別與智能分析及控制軟件等關鍵技術，研制形成百納米級高分辨工業CT檢測裝置，同時建立配套計量檢測技術標準及規范，形成從核心裝備到系統解決方案的全鏈條支撐能力。